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儀技術參數
| 結構 |
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| 輸入電源 |
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| 濺射電源 |
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| 磁控濺射頭 |
也可以根據自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭，訂購前需于本公司銷售人員 |
| 真空腔體 |
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| 載樣臺 |
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| 氣體流量控制器
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| 真空泵系統 | 配有一套分子泵系統（德國制作），采用一鍵式操作
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| 薄膜測厚儀 |
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| 外形尺寸 | L1300mm× W660mm× H1200mm |
| 重量 | 160 kg |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護 |
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