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簡要描述：VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀，針對于高通量MGI（材料基因組計劃）薄膜的研究。特別適合用于探索固態(tài)電解質(zhì)材料，通過5種元素，按16種不同配比組合。
產(chǎn)品型號：VTC-5RFI薄膜研究 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-02-11訪 問 量：4056詳細介紹
VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀，針對于高通量MGI（材料基因組計劃）薄膜的研究。特別適合用于探索固態(tài)電解質(zhì)材料，通過5種元素，按16種不同配比組合。
技術參數(shù)
概念 |
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電源 | 單相220 VAC, 50 / 60 Hz |
射頻電源 |
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直流電源（可選） |
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磁控濺射頭
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濺射靶材 |
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真空腔體
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樣品臺 |
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真空泵 |
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石英振蕩測厚儀（可選） | 可選購精密石英振蕩測厚儀，安裝在真空腔體內(nèi)，實時測量薄膜的厚度，精確度為0.1 Å（需水冷） |
凈重 | 60kg |
質(zhì)量認證 | CE認證 |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護 |
應用注意事項 |
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