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詳細介紹
VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
技術參數
主要特點 |
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參數 |
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| 進氣口 | 上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆
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| 可選加熱部分 | 上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。 | ||
產品規格 |
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標準配件 | 1 | 真空吸盤（含O型圈） | 2個 |
2 | 中心定位器（含4個定位柱） | 1個 | |
3 | 滴膠注射器（20ml） | 1個 | |
4 | 注射器支架 | 1個 | |
5 | 無油真空泵 | 1臺 | |
6 | 橡膠管（含卡箍） | 1根 | |
可選配件 | 過濾器（真空泵用） | ||
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