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OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其Z高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對樣品進(jìn)行熱處理。對于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐Z多可對4英寸的晶片進(jìn)行退火。

KSL-1100X-S-H是一款通過CE認(rèn)證的小型混合管式/箱式爐，其爐膛尺寸為100x100x100mm,做為單純的箱式爐可對樣品在空氣環(huán)境下進(jìn)行熱處理。此款設(shè)備配有石英爐管和不銹鋼密封法蘭，可對樣品在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行熱處理。設(shè)備Z高溫度可達(dá)1100℃，而且功率僅僅為500-700W。另外設(shè)備體積較小，可放入到手套箱里操作。

KSL-1200X-H是一款設(shè)計(jì)的混合管式/箱式爐，此款高溫爐配有2個(gè)爐管（帶有真空密封法蘭）和一個(gè)7.2L的箱式腔體。此款高溫爐可在同一時(shí)間對不同樣品在空氣下燒結(jié)，也可對部分樣品在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下熱處理。