技術參數(shù)

爐體結構

• 雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷）
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點擊圖片查看詳情）

加熱區(qū)

12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5ºC ）

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
•  一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
• AlN 具有很高的熱導率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

真空法蘭

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封
• 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內插式熱偶保證了溫度的準確。

水冷

如果要求通冷卻水.

• 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI

• 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.

• 警告:  這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
  
  

流量計

范圍： 16 - 160 ml/min

真空表

• 數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr .
• 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。（點擊圖片了解詳細參數(shù)）
  
  

真空度

• 用機械泵真空度達 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可達 10^-4 torr .

溫度控制

PID 自動控制， 可控硅 SCR

熱偶

進口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

• PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護功能
• 熱偶: 進口K type
• 自整定功能
• 控溫精度: +/- 1°C
•  RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據線需要另購）   溫控操作視頻：點擊查看

zui快升溫速度 

室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃： 10^oC/sec

zui快降溫速度 

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一個大氣壓下) 

選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:

溫度

zui高1100ºC ，額定1000°C

電源 

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險) 

尺寸 

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 

重量 

45 kg (100 lbs) 

保修期

電器部分一年質保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內）

認證

  CE 認證

升溫視頻                 

名稱：一種快速高溫退火爐

編號：ZL-2011-2-0077168.4

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權必究

標準裝箱單

商品編碼

名稱 

數(shù)量 

圖片 

EQ-CVM-211

數(shù)字真空計： 10^-4 Torr

1

RT36-00

63A保險

2

RT14-20

4A保險 

2

RTP-ACC-01

石英樣品架

1

AIN-Holder

樣品架上的AlN基片

KSL7-05

高溫手套, 耐 900 ^oC

1 pair

EQ-QZTube-RTP

石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

1

RTP-ACC-02

石英擋板 

4pcs 

聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm

1

高溫硅膠圈(6 個）

9

EQ-RTP-Halogen-light

紅外燈管

8

水管接頭

2

一對真空法蘭

1

N/A

高真空選配清單

為了獲得較高的真空，我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達50 mtorr),

名稱

數(shù)量 

l圖片

真空泵, 兩級旋片Two Ste高速真空泵和兩級排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)

1

 配KF-D25口的波紋管  (1m)

1

 KF-D25 真空快接 

1