1、加熱蒸發過程：包括將凝相變為氣相的過程。每種蒸發物質都有不同的溫度飽和蒸氣壓。
2、氣態原子或分子在蒸發源與基板之間的傳輸，即原子或分子在環境大氣中的飛行過程。
3、在基板表面蒸發原子或分子的沉積過程。即蒸發、凝結、成核和核生長，形成連續的薄膜。由于基板溫度遠低于蒸發源溫度，因此氣態分子會在基板表面發生從氣態到固態的相變過程。
小型蒸鍍儀的使用可分為四個步驟，即氣相沉積前的準備、氣相沉積設備的預熱、薄膜的氣相沉積和停機。
1、蒸發前的準備工作：
（1）打開充氣閥，給鐘罩充氣，然后提起鐘罩；
（2）根據鐘罩是否干凈，先用酒精清洗鐘罩內的零件；
（3）安裝鉬舟，將鋁絲放入鉬舟中，將待沉積的基材粘在鋁板上；
（4）鐘罩下降時，觀察鐘罩下降時鐘罩內是否有物體、雜物。
2、氣相沉積儀的預熱：
（1）啟動機械泵，將鐘罩抽出，接低真空測量，直到鐘罩內的真空度降至5pa以下；
（2）調節螺桿至10-20Pa，此時可對蒸鍍基板材料進行轟擊。如果不需要轟擊，則直接進行下一步。轟擊時間根據需要控制，主要用于處理沉積基板的表面。轟擊結束后，將轟擊撥盤置零，然后將撥盤的“轟擊”檔轉至“關”檔；
（3）將低壓閥推至泵送系統。當壓力低于5pa時，啟動擴散泵，預熱40分鐘。
3、蒸發膜：
（1）預熱后，打開高閥。大約40-60秒后，開啟高真空測量（打開燈絲），將低真空測量切換到擴散泵的前級測量。當真空度達到2-3×10-3時，滿足蒸發的真空度要求；
（2）打開“工件轉動”齒輪，按要求調節“工件轉動”的速度（接觸調壓值20-30）；
（3）開啟烘烤，調整所需溫度，根據實際需要設定烘烤時間。如果不需要烘烤，可以進行下一步氣相沉積實驗；
（4）選擇放置電極的位置，打開“蒸發”齒輪，在相應的電極位置插入“銅絞”，開始加大電流（約180A）溶解蒸發的物質。當發現已經熔化時，擋板會擋住蒸發源。*熔化后，打開擋板，讓材料蒸發到基材表面；
（5）蒸發后，所有齒輪應歸零。關閉高真空測量，關閉高閥，拔出低閥至“抽出鐘罩”位置，停止機械泵，待工件冷卻后給鐘罩充氣，提起鐘罩，取出零件，并清潔涂層室。
（6）如需額外蒸發，應更換基板，并給電極（鉬舟）充電。
4、關機：
（1）如果小型蒸鍍儀蒸發完成，關閉高真空測量，關閉高閥，停止擴散泵，在實驗結束時啟動機械泵。等待2小時冷卻后，將低位閥拉至“鐘罩”位置，使鐘罩內保持一定的真空度；
（2）關閉氣相沉積儀總開關；
（3）先關“進”閥，再關“出”閥（冷卻水）；
（4）關閉氣相沉積儀電源；
（5）關閉主電源。
（6）涂裝實驗結束后，注意清洗所有零件的原廠零件，退回所有材料，并進行清潔以保持實驗室清潔。
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