3靶等離子濺射儀加熱溫度為500℃，控制面板為觸摸屏模式，可濺射三種靶材，放置直徑50mm樣品。通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以將金靶、銀靶和銅靶三種材料依次涂覆在同一樣品上，可接真空泵、不銹鋼波紋管、kfd25快卸夾。

　　3靶等離子濺射儀是緊湊型等離子薄膜濺射儀（直流普通型）。控制面板采用觸摸屏方式。基板的極限尺寸為2"，放置樣品的直徑為Ø50mm，加熱溫度高達(dá)500℃，可濺射金、銀、銅靶材，但不能輕金屬和碳，本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可在同一樣品上依次鍍?nèi)龑颖∧ぃm用于實(shí)驗(yàn)室鍍膜樣品的制備。采用PLC控制面板控制設(shè)備，操作方便，該機(jī)設(shè)備體積小，實(shí)驗(yàn)室空間小，操作簡(jiǎn)單，適用范圍廣，因此被廣泛應(yīng)用于大專院校和科研院所的實(shí)驗(yàn)室。

　　1、PLC控制面板，4.3"觸摸屏，PID溫度控制方式。

　　2、可控參數(shù)包括真空度、電流、目標(biāo)位置和基板加熱溫度。

　　3、可配真空泵、不銹鋼波紋管kfd25快卸夾。

　　4、已通過(guò)CE認(rèn)證。

　　3靶等離子濺射儀是基于直流濺射原理的簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。該機(jī)的特點(diǎn)是在一個(gè)真空室中安裝了三個(gè)靶材，旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)可以在同一個(gè)樣品上依次涂布三種材料。因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極的制備。